MEAGLOW Ltd.

Ogólne informacje

Meaglow Ltd. To kanadyjska firma specjalizująca się w produkcji i rozwoju: 1. Reaktorów badawczych MEAGLow. Reaktor przystosowuje się do wytwarzania cienkich warstw techniką epitaksji. Wykorzystuje ona autorskie skalowalne źródło plazmy azotowej bez amoniaku, które w dużym stopniu usuwa problem zanieczyszczenia tlenem. 2. Źródeł plazmy z katod wnękowych MEAGLow. Źródło pozwala na szybkie włączanie/wyłączanie procesu bez większych wahań mocy. Kolejną zaletą tego rodzaju źródła plazmy jest możliwość prostego skalowania poprzez zwiększanie ilości otworów dla katod wnękowych. 3. Wysokiej jakości warstwy epitaksjalne InN i InGaN.